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藍寶石玻璃的內應力消除方法

時間:2024-01-30

藍寶石玻璃有著廣泛的應用,如GaN藍綠半導體二極管實用的襯底材料、高功率激光器理想的窗口材料和激光基體材料等。可采用溫度梯度法和氣泡法生產,如80公斤級、120公斤級、150公斤級。

藍寶石生長過程中,晶體內部不可避免地會產生應力。特別是對于藍寶石晶體棒,在挖棒過程后會引入額外的加工應力,帶應力的藍寶石晶錠在切割時可能會出現電弧弧度大、切割精度低等問題。這些問題可能會增加晶片切割表面的應力,導致切割后晶片出現更大的翹曲和弓形。另外,晶片經過常規退火處理(1400℃左右)后,晶片內部的應力無法釋放。因此,晶片在后續的研磨、倒角加工過程中,很容易出現崩邊、裂紋、翹曲、像散等問題,這將進一步降低良率。因此,為了提高晶片加工的良率,需要及時消除內應力。另外,在使用鎢籠作為加熱元件的生長爐中,鎢原子(W)和少量鉬原子(Mo)可能以固態擴散、滲透等形式隨機進入熔體。

藍寶石玻璃

將通過溫度梯度法(TGT法)生長的藍寶石玻璃在中高溫氧化氣氛(1600℃空氣氣氛)和高溫還原氣氛(1900℃氫氣氣氛)中放置120小時。經過去應力和去色退火處理,即“兩步”退火處理后,晶體變得無色透明。經過測試,藍寶石的完整性和光學透過率都有了顯著的提高。然而,采用兩步法進行退火時,時間成本和退火工藝成本較高。一種“一步式”高溫退火工藝,即在1750~1800℃的空氣氣氛中直接高溫退火。保溫時間取決于晶體質量(一般不超過40小時)。將藍寶石原料中可能含有的低價雜質離子(如Cr3、Ti3)充分氧化成高價態(Cr4、Ti4),進一步減小晶棒的色差,增加晶棒的色差。水晶棒的質量。其次,鎢、鉬原子被氧化生成WO3和MoO3,它們在高溫下容易升華,鎢、鉬原子以氣體形式離開晶棒。高溫退火是消除晶體內應力的適宜方法,且溫度越高,退火時間越短。與現有的兩步工藝相比,該工藝縮短了退火周期。

本工藝使用的高溫退火爐,放置藍寶石玻璃送入退火爐退火,按既定升溫曲線升溫至1750-1800℃,恒溫40小時左右,然后按規定降溫至室溫。整個工藝顯著縮短了退火周期,節省了退火時間和工藝成本,退火前后的外觀顏色發生了根本性的變化。退火前,藍寶石顯得略顯渾濁,顏色較深;退火后,藍寶石內部清晰透明。

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